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各种高纯气体
各种标准气体
工业用气
分析仪器\钢瓶及相磁配件
电子工业用气体
 
　
各种高纯气体
 
产品名称
分子式
执行标准
纯度(v/v)
杂质含量(ppm)
Ne
H2
O2-Ar
N2
THC
H2O
高纯氧
O2
GB/T14599-93
≥99.995%
 
 
≤10 
 ≤20
≤3 
 ≤3
高纯氮
N2
GB/T8980-96
≥99.999%
 
 ≤1.0
≤3.0 
 
≤3.0 
≤5.0 
高纯氦
He
GB/T4844.3-95
≥99.999%
≤4
≤1 
≤1
≤2
≤1.5
≤3 
纯氦
He
GB/T4844.2-95
≥99.995%
≤15
≤3
≤3
≤10
≤3
≤10 
高纯氙气
Xe
GB/T5828-95
≥99.999%
 
≤0.5 
 ≤2
≤3 
≤1 
 ≤2.6
氪气
Kr
GB/T5829-95
≥99.995%
 
 ≤1
≤5 
 ≤10
≤2 
≤4 
高纯氩
Ar
GB/T10642-95
≥99.999%
 
≤1
≤2
≤5
≤2 
 ≤4
超纯氩
Ar
QN/JHBZ002-1995
≥99.9999%
 
≤0.1
≤0.2
≤0.5
≤0.3
≤0.2
四氟化碳
CF4
 
≥99.999%
 
 
≤1.0
≤4.0
≤2.0
≤1.0
二氧化硫
SO2
 
≥99.99%
 
 
 
 
 
≤5
六氟化硫
SF6
GB/T18867-2002
≥99.995%
 
 
 
 
 
≤8
甲烷
CH4
HG/T3633-1999
≥99.995%
 
≤5
≤5
≤15
 
≤5
一氧化碳
CO
 
≥99.99%
 
≤5
≤150
≤250
 
≤10
高纯氢
H2
GB/T7445-95
≥99.999%
 
 
≤1
≤5
≤3
≤3
超纯氢
H2
GB/T7445-95
≥99.9999%
 
 
≤0.2
≤0.4
≤0.4
≤1.0
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